发明名称 VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN INSPEKTION VON BEWEGTEN MATERIALOBERFLÄCHEN.
摘要
申请公布号 AT110169(T) 申请公布日期 1994.09.15
申请号 AT19890105845T 申请日期 1989.04.04
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 SCHWEIZER, WERNER, DR.;MOLNAR, JOSEF;HOEFLER, HEINRICH, DR.
分类号 G01N21/89;(IPC1-7):G01N21/89 主分类号 G01N21/89
代理机构 代理人
主权项
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