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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0672983(B2)
申请公布日期
1994.09.14
申请号
JP19830186269
申请日期
1983.10.05
申请人
发明人
分类号
G02B9/00;G02B13/00;G02B13/24;G02B15/00;G02B27/18;H01L21/027;(IPC1-7):G02B27/18
主分类号
G02B9/00
代理机构
代理人
主权项
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