| 发明名称 |
Process and apparatus for etching thin coatings, preferably indium-tin oxide coatings |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9414908(D0) |
申请公布日期 |
1994.09.14 |
| 申请号 |
GB19940014908 |
申请日期 |
1994.07.25 |
| 申请人 |
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J27/16;H01J37/305;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L31/18;H05H1/46 |
主分类号 |
H01J27/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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