发明名称 Vacuum vapor deposition apparatus.
摘要
申请公布号 EP0477474(B1) 申请公布日期 1994.09.14
申请号 EP19910110103 申请日期 1991.06.19
申请人 MITSUBISHI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA;NISSHIN STEEL CO., LTD. 发明人 KENICHI, YANAGI, C/O HIROSHIMA TECHNICAL INSTITUTE;TOSHIO, TAGUCHI, C/O HIROSHIMA TECHNICAL INSTITUTE;YOSHITERU, MORIYAMA, C/O SAKAI WORKS;MITSUHIKO, SAKO, C/O SAKAI WORKS;TAKUYA, AIKO, C/O SAKAI WORKS;SHINJI, KAMURA, C/O SAKAI WORKS;SHINJI, KAMURA, C/O SAKAI WORKS
分类号 C23C14/24;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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