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发明名称 VACUUM TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06256948(A) 申请公布日期 1994.09.13
申请号 JP19930047741 申请日期 1993.03.09
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 SUZUKI SATOSHI
分类号 C23C14/54;C23C14/00;C23C14/56;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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