| 发明名称 |
METHOD FOR COOLING SILICON SINGLE CRYSTAL AND COOLING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06256087(A) |
申请公布日期 |
1994.09.13 |
| 申请号 |
JP19930041566 |
申请日期 |
1993.03.02 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP;NITTETSU DENSHI KK |
发明人 |
KOJIMA KIYOSHI;HABU RYUICHI;MIYASATO TOSHIO |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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