| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR THIN FILM AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06256100(A) |
申请公布日期 |
1994.09.13 |
| 申请号 |
JP19920114229 |
申请日期 |
1992.04.08 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
SHIRAISHI YUTAKA;MIYAMURA YOSHIJI;IMAI MASATO |
| 分类号 |
C30B33/08;G01L9/00;G01L9/04;H01L21/306;H01L29/84;(IPC1-7):C30B33/08 |
主分类号 |
C30B33/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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