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发明名称 CONTINUOUS VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06256947(A) 申请公布日期 1994.09.13
申请号 JP19930044210 申请日期 1993.03.05
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 MATSUDA SHIKO;NEHASHI KIYOSHI;SATO HIROYUKI
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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