| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR INTRODUCING HIGH IMPEDANCE PLASMA ION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06256943(A) |
申请公布日期 |
1994.09.13 |
| 申请号 |
JP19930275832 |
申请日期 |
1993.11.04 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO |
发明人 |
ROBAATO DABURIYU SHIYUUMATSUHAA;JIESHII ENU MATOTSUSHIAN;DAN EMU GOOBERU |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/265;H01L21/324;(IPC1-7):C23C14/48 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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