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发明名称 Verfahren zum Niederschlagen einer Wolframschicht.
摘要
申请公布号 DE68914061(T2) 申请公布日期 1994.09.08
申请号 DE19896014061T 申请日期 1989.08.14
申请人 OKI ELECTRIC INDUSTRY CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUHASHI, HIDEAKI OKI ELECTRIC INDUSTRY CO., LTD, MINATO-KU TOKYO, JP
分类号 C23C16/14;C23C16/48;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 C23C16/14
代理机构 代理人
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