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发明名称 Belichtungssystem.
摘要
申请公布号 DE68917210(D1) 申请公布日期 1994.09.08
申请号 DE1989617210 申请日期 1989.05.22
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 STROOMER, MARTINUS VICTOR CHRISTIAAN, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;TIMMERS, WILHELMUS ADRIANUS GERARDUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 G02B19/00;F21S8/00;F21V7/09;G02B5/00;G02B17/08;G02B27/00;G02B27/10;G03B21/14;G03B27/54;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03B41/00;F21M1/00 主分类号 G02B19/00
代理机构 代理人
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