发明名称 Measurement and control of magnetostrictive transducer motion.
摘要
申请公布号 EP0391880(B1) 申请公布日期 1994.09.07
申请号 EP19900870049 申请日期 1990.04.02
申请人 FISHER CONTROLS INTERNATIONAL, INC. 发明人 BUCHWALD, WARREN GLENN
分类号 G05D3/00;G05D3/12;H01L41/12;(IPC1-7):H01L41/12 主分类号 G05D3/00
代理机构 代理人
主权项
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