发明名称 FIELD CONTROL AND STABILITY ENHANCEMENT IN MULTILAYER, 3-DIMENSIONAL STRUCTURES.
摘要 L'invention concerne des structures de circuit multicouches unifiées comprenant des couches d'isolation du substrat de base et des couches de régulation du champ diélectrique dont les constantes diélectriques diffèrent de la constante diélectrique des couches d'isolation du substrat de base.
申请公布号 EP0613608(A1) 申请公布日期 1994.09.07
申请号 EP19930921699 申请日期 1993.09.21
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 MCCLANAHAN, ROBERT, F.;WASHBURN, ROBERT, D.
分类号 H05K3/46;H01L23/538;H01L23/552;H05K1/02;H05K1/03;H05K1/09;H05K1/16;H05K9/00;(IPC1-7):H05K1/00 主分类号 H05K3/46
代理机构 代理人
主权项
地址