| 摘要 |
Le dispositif de l'invention permet d'ouvrir et de fermer l'alimentation de très faibles quantités de milieux durant une période variable, dans de très bonnes conditions de fiabilité et de fonctionnement stable. La nouvelle soupape micromécanique comprend pour l'essentiel trois couches superposées les unes sur les autres (1, 2, 3). La couche centrale constitue une membrane de soupape (2) et la couche supérieure une fine membrane d'entraînement (3). Un élément de commande (4) est placé contre la membrane d'entraînement (3) pour actionner la soupape. La membrane de la soupape (2) comporte de part et d'autre des structures incorporées formant des canaux et des chambres pour l'admission et la sortie. Elle possède un passage (9) central et est liée de manière inamovible à la membrane d'entraînement (9) dans sa zone centrale et de manière amovible à la couche de base (1), sans gêner pour autant le passage du milieu par le canal d'admission (5), la chambre d'admission (6), le passage (9), ainsi que par la chambre de sortie (6) et le canal de sortie (8) en régime actif. |
