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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0671009(B2) 申请公布日期 1994.09.07
申请号 JP19850273041 申请日期 1985.12.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/302;H01L21/3065;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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