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发明名称 PLASMA CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06248461(A) 申请公布日期 1994.09.06
申请号 JP19930037685 申请日期 1993.02.26
申请人 HITACHI ZOSEN CORP 发明人 ARAI HIROSHIGE;DAIKU HIROYUKI;MAEHATA HIDEHIKO
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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