发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ULTRASONIC CLEANING
摘要
申请公布号 JPH06246249(A) 申请公布日期 1994.09.06
申请号 JP19930031017 申请日期 1993.02.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FURUMURA SHIRO;OKAMURA EMIKO;HIOKI HIDEAKI;KATO HIROAKI
分类号 B08B3/12;B08B9/02;G21F9/00;G21F9/28;(IPC1-7):B08B3/12 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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