| 发明名称 |
PRODUCTION OF TIO2-SNO2 FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06247797(A) |
申请公布日期 |
1994.09.06 |
| 申请号 |
JP19930036348 |
申请日期 |
1993.02.25 |
| 申请人 |
KYOCERA CORP |
发明人 |
YAMAGUCHI KOICHI;KOGA KAZUNORI;SEKI YOUJI;NANBU SHINJI |
| 分类号 |
C30B29/22;H01L21/318;(IPC1-7):C30B29/22 |
主分类号 |
C30B29/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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