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发明名称
ULTRASONIC DISPENSER AND METHOD FOR EXTRUSION OF HIGHLY VISCOUS FLUID
摘要
申请公布号
JPH06246211(A)
申请公布日期
1994.09.06
申请号
JP19930055204
申请日期
1993.02.19
申请人
KAIJO CORP
发明人
HASHIMOTO YOSHIKI
分类号
B05C5/00;B05D1/26;H01L21/56;(IPC1-7):B05C5/00
主分类号
B05C5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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