发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06244287(A) 申请公布日期 1994.09.02
申请号 JP19930025324 申请日期 1993.02.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KANAZAWA MASATO
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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