| 发明名称 |
METHOD OF SEALING CABINET IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06244111(A) |
申请公布日期 |
1994.09.02 |
| 申请号 |
JP19930046098 |
申请日期 |
1993.02.12 |
| 申请人 |
SHINKO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NAGASHIMA HIROSHI;KONO HITOSHI;YAMAMOTO RITSU;ISHIKURA AKIRA |
| 分类号 |
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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