| 发明名称 |
FORMATION OF POLYIMIDE PATTERN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06242613(A) |
申请公布日期 |
1994.09.02 |
| 申请号 |
JP19930028986 |
申请日期 |
1993.02.18 |
| 申请人 |
TORAY IND INC |
发明人 |
NIWA KATSUHIRO;EGUCHI MASUICHI;ASANO MASAYA |
| 分类号 |
G03F7/027;G03F7/038;G03F7/075;G03F7/11;G03F7/26;H01L21/312;H05K3/28;(IPC1-7):G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
