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发明名称
PREPARATION OF TEST PIECE OF POLYIMIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH06241964(A)
申请公布日期
1994.09.02
申请号
JP19930026386
申请日期
1993.02.16
申请人
NEC CORP
发明人
OKADA YOSHITSUGU
分类号
G01N1/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01N1/28
主分类号
G01N1/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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