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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH06244387(A) 申请公布日期 1994.09.02
申请号 JP19930047237 申请日期 1993.02.12
申请人 NEC CORP 发明人 TAZAKI TOSHIO
分类号 H01L27/118;G06F17/50;H01L21/82;(IPC1-7):H01L27/118 主分类号 H01L27/118
代理机构 代理人
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