| 发明名称 |
SURFACE DEFECT INSPECTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06242020(A) |
申请公布日期 |
1994.09.02 |
| 申请号 |
JP19910175499 |
申请日期 |
1991.07.16 |
| 申请人 |
MITSUBISHI RAYON CO LTD |
发明人 |
SAITO NORIAKI;FUSE MASAKI;KAGAMI MANABU |
| 分类号 |
G01N21/84;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/84 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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