| 发明名称 |
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND PHOTOSENSITIVE RESIN ELEMENT USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06242603(A) |
申请公布日期 |
1994.09.02 |
| 申请号 |
JP19930025691 |
申请日期 |
1993.02.15 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
SAWABE MASARU;ISHIMARU TOSHIAKI |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/033;G03F7/038;G03F7/11;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/18;(IPC1-7):G03F7/027 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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