发明名称 ENERGY BEAM CUTOFF MECHANISM AND ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH06243807(A) 申请公布日期 1994.09.02
申请号 JP19930026706 申请日期 1993.02.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAKAI KATSUHIKO
分类号 C23C14/48;H01J37/09;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/09 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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