| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR EVALUATING CONTAMINATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06242006(A) |
申请公布日期 |
1994.09.02 |
| 申请号 |
JP19930033022 |
申请日期 |
1993.02.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
NIUCHI MASAKI |
| 分类号 |
G01N21/77;G01N21/91;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/77 |
主分类号 |
G01N21/77 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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