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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06244192(A) 申请公布日期 1994.09.02
申请号 JP19930027684 申请日期 1993.02.17
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD 发明人 NARITA YUKIHIRO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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