| 发明名称 |
PRODUCTION OF GLASS BOARD FOR THIN FILM FORMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06244426(A) |
申请公布日期 |
1994.09.02 |
| 申请号 |
JP19930040477 |
申请日期 |
1993.02.04 |
| 申请人 |
TOAGOSEI CHEM IND CO LTD |
发明人 |
HATTORI SATORU;HARADA MASAYOSHI |
| 分类号 |
C03C17/245;C23C16/40;H01L21/316;H01L29/78;H01L29/786;H01L51/05;(IPC1-7):H01L29/784;H01L29/28 |
主分类号 |
C03C17/245 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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