发明名称 Substrat semi-conducteur et son procédé de production.
摘要 <P>L'invention concerne un substrat semi-conducteur qui comporte une film semi-conducteur formé sur un corps de substrat semi-conducteur via un film isolant. <BR/> Selon l'invention, le film semi-conducteur se compose d'un premier film semi-conducteur (2) qui est un film semi-conducteur recristallisé par fusion de zones d'où les joints subgranulaires (4) produits pendant la recristallisation sont éliminés, ainsi qu'un second film semi-conducteur (7) tiré par épitaxie sur le premier, et en forme de bandes. <BR/> L'invention s'applique notamment à l'industrie des semi-conducteurs.</P>
申请公布号 FR2702087(A1) 申请公布日期 1994.09.02
申请号 FR19930014062 申请日期 1993.11.24
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 ARIMOTO SATOSHI;HAYAFUJI NORIO;DEGUCHI MIKOO
分类号 H01L21/208;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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