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发明名称 CONTROL METHOD OF P-TYPE CARRIER CONCENTRATION OF CADMIUM TELLURIDE BY PHOTO-ASSIST MBE
摘要
申请公布号 JPH06244222(A) 申请公布日期 1994.09.02
申请号 JP19930026380 申请日期 1993.02.16
申请人 NEC CORP 发明人 SONE SHUJI
分类号 C23C14/28;C30B23/08;H01L21/363;(IPC1-7):H01L21/363 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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