发明名称 COPPER-FINE-INTERCONNECTION FORMATION METHOD AND COPPER FINE INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPH06244534(A) 申请公布日期 1994.09.02
申请号 JP19930047441 申请日期 1993.02.13
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 NAKADA YOSHIKAZU
分类号 H05K3/10;H05K3/24;(IPC1-7):H05K3/10 主分类号 H05K3/10
代理机构 代理人
主权项
地址