| 发明名称 |
PROJECTION EXPOSURE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06244076(A) |
申请公布日期 |
1994.09.02 |
| 申请号 |
JP19930026492 |
申请日期 |
1993.02.16 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SUGA KAZUTOSHI;NAKAJIMA YOSHIO;HIBINO YOZO;FUNATSU RYUICHI |
| 分类号 |
G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027;G03B27/32 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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