| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE MANUFACTURED BY THIS METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06244389(A) |
申请公布日期 |
1994.09.02 |
| 申请号 |
JP19930308047 |
申请日期 |
1993.12.08 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SAKAGUCHI KIYOBUMI;YONEHARA TAKAO |
| 分类号 |
C30B33/06;H01L21/02;H01L21/18;H01L21/20;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 |
主分类号 |
C30B33/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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