发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06244137(A) 申请公布日期 1994.09.02
申请号 JP19930027062 申请日期 1993.02.17
申请人 NEC CORP 发明人 NISHIO NAOHARU
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L29/784 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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