发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT SHIELD STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH06244189(A) 申请公布日期 1994.09.02
申请号 JP19930055082 申请日期 1993.02.18
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 ISOBE KATSU
分类号 H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/12;H01L23/14;H01L23/52;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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