发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06244205(A) 申请公布日期 1994.09.02
申请号 JP19930048534 申请日期 1993.02.15
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI;CHIYOU KOUYUU;TAKEMURA YASUHIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/00;H01L21/20;H01L21/324;H01L21/336;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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