| 摘要 |
<p>Eine Vorrichtung zum Transportieren von flachen Gegenständen, insbesondere von Substraten, weist einen beweglichen Greifer (23) mit einem Tragarm (49) und einem schwenkbaren Tragelement (51) auf. Um beim Holen eines Gegenstandes eine Kollision zwischen dem Greifer (23) und einem Wafer (25) in einem Ladefach einer Kassette (27) zu vermeiden, sind am Tragarm (49) des Greifers (23) ein Fluidsensor (81, 101) angebracht, der die Distanz zu mindestens einem zum Tragarm (49) benachbarten Wafer (25) berührungsfrei misst. Am Greifer (23) ist ausserdem eine aus einem Sender (31') und einem Empfänger (33') bestehende optische Detektionseinrichtung (29') vorgesehen. Der Sender (31') sendet Lichtstrahlen in der Längsachse des Greifers (23) aus. Der Empfänger (33') erstreckt sich auf beiden Seiten der Längsachse, so dass auch Licht, welches aufgrund eines seitlich orientierten Waferflat in einem Winkel zur Längsachse reflektiert wird, detektiert werden kann. Das Tragelement (51) lässt sich durch eine an zwei Punkten befestigte Zugstange (59), welche sich berührungsfrei in einer Nut (57) des Tragarms (49) erstreckt, in die Arbeitslage schwenken. Durch Zurückziehen des Tragarms (49) wird der zu transportierende Wafer (25) zwischen dem Tragelement (51) und einem am Gehäuse (53) angebrachten Tragelement (50) eingeklemmt.</p> |
