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发明名称 Halbleitervorrichtung mit einer Wannenstruktur und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE4223272(C2) 申请公布日期 1994.09.01
申请号 DE19924223272 申请日期 1992.07.15
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KOMORI, SHIGEKI, ITAMI, HYOGO, JP;TSUKAMOTO, KATSUHIRO, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/761;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/8238;H01L21/8242;H01L27/092;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/76;H01L27/105 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
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