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发明名称 Mehrschichtstruktur und Verfahren zur plasmaaktivierten reaktiven Abscheidung von Mehrkomponentenmaterial aus einer Gasphase.
摘要
申请公布号 DE59006583(D1) 申请公布日期 1994.09.01
申请号 DE19905006583 申请日期 1990.10.05
申请人 PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH, 20097 HAMBURG, DE 发明人 GAERTNER, GEORG, DR., W-5100 AACHEN, DE
分类号 C23C16/06;C23C16/22;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/06 主分类号 C23C16/06
代理机构 代理人
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