发明名称 Chemische Gasphasen-Beschichtungsanlage der In-Line-Bauart.
摘要
申请公布号 DE69011052(D1) 申请公布日期 1994.09.01
申请号 DE19906011052 申请日期 1990.11.22
申请人 NIHON SHINKU GIJUTSU K.K., CHIGASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 NAKAMURA, KYUZO, CHIBA CHOZAIRYO KENKYUJO, SANBU-GUN, CHIBA-KEN, JP;ISHIKAWA, MICHIO, CHIBA CHOZAIRYO KENKYUJO, SANBU-GUN, CHIBA-KEN, JP;ITO, KAZUYUKI, CHIBA CHOZAIRYO KENKYUJO, SANBU-GUN, CHIBA-KEN, JP;TANI, NORIAKI, CHIBA CHOZAIRYO KENKYUJO, SANBU-GUN, CHIBA-KEN, JP;HASHIMOTO, MASANORI, CHIBA CHOZAIRYO KENKYUJO, SANBU-GUN, CHIBA-KEN, JP;OTA, YOSHIFUMI, CHIBA CHOZAIRYO KENKYUJO, SANBU-GUN, CHIBA-KEN, JP
分类号 C23C16/44;C23C16/02;C23C16/50;C23C16/54;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/54 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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