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发明名称 Vorrichtung zur korpuskularoptischen Untersuchung und/oder Bearbeitung von Materialproben.
摘要
申请公布号 DE59200325(D1) 申请公布日期 1994.09.01
申请号 DE19925000325 申请日期 1992.10.29
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH, 85551 KIRCHHEIM, DE 发明人 FEUERBAUM, HANS-PETER, DR. DIPL.-PHYS., W-8000 MUENCHEN 83, DE
分类号 H01J37/20;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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