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发明名称 Sputtertarget und Verfahren zu seiner Herstellung.
摘要
申请公布号 DE68913466(T2) 申请公布日期 1994.09.01
申请号 DE19896013466T 申请日期 1989.12.21
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SATOU, MICHIO, KANAGAWA-KU YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;YAMANOBE, TAKASHI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;KAWAI, MITSUO, SEYA-KU, YOKOHAMA-SHI, JP;KAWAGUCHI, TATSUZO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;MITSUHASHI, KAZIHIKO, CHIGASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;MIZUTANI, TOSHIAKI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 C04B35/58;C04B35/645;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C04B35/58 主分类号 C04B35/58
代理机构 代理人
主权项
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