| 发明名称 |
DISPOSITIVO DE SUPERVISION DE PROXIMIDAD CAPACITIVA PARA AMBIENTE DE ATMOSFERA CORROSIVA. |
| 摘要 |
<p>La presente invención se refiere a un dispositivo de supervisión para las condiciones de operación de equipo que existe necesariamente en un ambiente altamente corrosivo como se puede encontrar en la industria de semiconductores en el procesamiento de obleas semiconductoras dentro de chips de circuito.</p> |
| 申请公布号 |
MX9401283(A) |
申请公布日期 |
1994.08.31 |
| 申请号 |
MX19940001283 |
申请日期 |
1994.02.18 |
| 申请人 |
FLUOROWARE, INC. |
发明人 |
DEAN T. HAMILTON;TIMOTHY R. COLLINS;ROBERT T. CHINNOCK;ROBERT C. GRANT |
| 分类号 |
G01M99/00;G01F1/24;G01F23/26;G01M3/16;G01M3/18;G01N17/00;G01N27/22;G01P5/08;G01P13/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):G06F9/00 |
主分类号 |
G01M99/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
