| 发明名称 |
Clean transfer method and system therefor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2249145(B) |
申请公布日期 |
1994.08.31 |
| 申请号 |
GB19910010967 |
申请日期 |
1991.05.21 |
| 申请人 |
* T D K CORPORATION |
发明人 |
TETSUO * TAKAHASHI;EISAKU * MIYAUCHI;TOSHIHIKO * MIYAJIMA |
| 分类号 |
B65D6/40;B65G49/00;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B65D6/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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