发明名称 Forming a layer
摘要
申请公布号 GB9414145(D0) 申请公布日期 1994.08.31
申请号 GB19940014145 申请日期 1994.07.13
申请人 ELECTROTECH LIMITED 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H05K3/40 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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