发明名称
摘要
申请公布号 JPH0669085(B2) 申请公布日期 1994.08.31
申请号 JP19860210274 申请日期 1986.09.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;H01L21/02;H01L21/84;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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