| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein phasemoduliertes Interferometer mit neuartiger Ansteuerung und Signalaufbereitung. Die Aufgabe, bei einem phasenmodulierten Interferometer ohne komplizierte Sägezahnansteuerung des Phasenmodulators (2) zu auswertefähigen Überlagerungssignalen zu gelangen, wird erfindungsgemäß gelöst, indem dem bekannten Phasenmodulator (2) zwei sinusförmgie Ansteuersignale mit den Modulationsfrequenzen (ω1,ω2), die phasen- und frequenzstarr gekoppelt sind, zugeführt werden und aus dem im Interferometer erzeugten Überlagerungssignal mit einem elektronischen Bandpaßfilter (8), bei dessen Filterfrequenz (ωF) eine ungeradzahlige und eine geradzahlige Harmonische der zwei Modulationsfrequenzen (ω1,ω2) die gleiche Frequenz aufweisen, ein in üblicher Weise zur Auswertung der Phasenverschiebung verwendetes Kosinussignal ausgefiltert wird, wenn die Amplituden (1,2) der Ansteuersignale die Bedingung für den geeigneten Arbeitspunkt des Phasenmodulators (2) erfüllen. Die Erfindung findet Anwendung in phasenmodulierten Interferometern, insbesondere für Präzisionslängenmeßgeräte mit vorzugsweise heterodynem Auswerteverfahren. <IMAGE></p> |
