发明名称 POSITIVE PHOTORESIST HAVING IMPROVED PROCESSABILITY
摘要
申请公布号 JPH06239937(A) 申请公布日期 1994.08.30
申请号 JP19930339657 申请日期 1993.12.03
申请人 CIBA GEIGY AG;O C G MIKUROEREKUTORONIKUSU INC 发明人 URURITSUHI SHIEEDERI;NORUBERUTO MIYUNTSUERU
分类号 C08F12/22;C08F12/00;C08F22/36;C08F22/40;C08F222/40;C08K5/20;C08L25/00;C08L25/18;C08L33/04;C08L33/24;C08L35/00;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):C08F12/22 主分类号 C08F12/22
代理机构 代理人
主权项
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